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基本配置
一、離子清洗機概述
離子清洗機,又名等離子清洗機,是通過等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表麵汙漬的清洗設備。
自1952年以(yǐ)來,“TDC公司”就一直給(gěi)電子行業提供高(gāo)質量的生產設備,並(bìng)且(qiě)由於我們優質的售後服務和技術支持而獲得極(jí)高的聲譽。此外,“TDC公司”走(zǒu)在世界(jiè)清洗技術的前列,生產創新、優質、可靠的產品,同時又不對環境造成任何(hé)不良的影響。Nu/CLEAN型生產線水洗機是當今同類產品市場上最安(ān)全、最安靜、最節能(néng)的產品。“TDC公司”還(hái)是第一個生(shēng)產混合動力水洗機的公司, 供選用的混合動(dòng)力Nu/CLEAN型水洗機(jī)因(yīn)為使用天然(rán)氣而不是(shì)電能(néng)來加熱水洗機裏麵的水(shuǐ)而(ér)可以大(dà)大(dà)節省能(néng)源(yuán)成本。
Nu/CLEAN型水洗機除了擁(yōng)有這(zhè)些技術和環保優勢之外,它還具有容易使用和保養的特(tè)點。觸摸屏控製係統(tǒng)使用起來非常直觀、簡單,可(kě)以(yǐ)控製和(hé)監督水洗機的所有重要功能。警報和保養顯示屏讓操作員能(néng)夠馬上(shàng)知道需要采取什麽措施。水箱、機櫃以及控製係統(tǒng)的結構設計令日常保養工作既簡(jiǎn)單又快捷。
“TDC公司”擁有幾十年的水洗機生產(chǎn)經驗和遍(biàn)布各(gè)地的客戶服(fú)務網絡,是滿足您(nín)清洗要求的最佳選(xuǎn)擇。
二、離子清洗機(jī)的清洗原理
無機氣體被激發為(wéi)等離(lí)子(zǐ)態→氣(qì)相物質被吸附在固體表麵→被吸附基團(tuán)與固體表麵(miàn)分子反應生(shēng)成產物分(fèn)子→產物分子解析(xī)形成氣相→反應殘餘物脫離表麵。
三、離子清洗機的(de)清洗特點
1、離子清洗機(jī)不分處理對象的(de)基材類型,均(jun1)可進行處理,如(rú)金屬、半導體、氧化物(wù)和大(dà)多數高分子材料等(děng),並可實現整體和局部以及(jí)複雜結構的清洗。
2、容易采用數控技術,自動化程度高。
3、具有高精度的控製裝(zhuāng)置,時間(jiān)控製的精度很高。
4、正確的等離子體清洗不會在表麵產生(shēng)損(sǔn)傷層,表麵質量得到保證。
5、在真(zhēn)空中進行,不汙染環境,保證清洗表麵不被二次汙染(rǎn)。
四(sì)、離子清洗機的清洗分類及性能
離子清洗機主要通過反應類型和激發頻率兩個方麵來分類。
1、反應(yīng)類型分類(lèi)
等離子體與(yǔ)固體表麵發生反應可以分為物理反應(離子轟擊)和化學反應。
1)物理反應機製是活性(xìng)粒子轟擊待清洗表麵,使汙染物脫離表麵最(zuì)終被真空泵吸走。物理反應為主的(de)等離子體清洗,也叫做濺(jiàn)射腐蝕(SPE)或離子銑(xǐ)(IM),其優點:本身不發(fā)生化學反應,清潔表麵不會留下任何的氧化物,可以保持被清(qīng)洗物的化學純淨性。缺點:對表麵產生了很大(dà)的損害,會產生很大的熱效應,對被清洗表麵的各種不同物質選擇性差,腐蝕速度較低。典型的等離(lí)子體物理清(qīng)洗工藝是氬氣等離子體清洗。
2)化學反應機製是各種活性的粒(lì)子和汙染物反應(yīng)生成易揮發性的(de)物質,再由真空泵(bèng)吸走揮發(fā)性的物(wù)質。化學反應為主的等離子體清洗的優點:清洗速度較高(gāo)、選擇性好、對清除有(yǒu)機汙染物比較有效,缺點:表麵產(chǎn)生氧化物。典型的等離子體化學清洗工藝是氧氣等離子體清洗。通過等離子體產生的氧(yǎng)自由基非常活潑,容易與碳(tàn)氫化合物發生反應,產生(shēng)二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發物,去除表麵(miàn)的汙染物。
2、激發頻率分類
等離子態的(de)密(mì)度和激(jī)發(fā)頻率的(de)關係式: nc=1.2425×108v2 ,其(qí)中nc為等離子態(tài)密度(cm-3),v為(wéi)激發頻(Hz)。 等離子體激發頻率分為:頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體,13.56MHz的等離子體為射頻等(děng)離子體,2.45GHz的等離子體為微波等離子體。超聲等離子體的自偏(piān)壓為1000V左右,射頻等離子體的自偏壓為250V左右(yòu),微波(bō)等離子體的自偏壓很低,隻有幾十伏。超聲等離子體發生的(de)反應為物理反應,射頻等離子體發(fā)生的反應既有物理反應又有化學反應,微波等離子體(tǐ)發生的反應為化學(xué)反應。
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